低溫泵真空抽氣系統故障的最基本現象是真空系統中的壓力升高。引起系統壓力升高的原因：一是真空系統的漏氣；二是低溫泵的工作出現故障。 

　　真空系統的漏氣可以用氦質譜檢漏儀分別對真空容器和低溫泵本身進行檢漏，若發現不漏氣，則必須按以下情況逐一排除低溫泵的故障。 

　　一、真空容器中壓力升高（二級冷陣的溫度低于20K） 

　　可能原因為： 

　　1、真空系統或低溫泵本身有漏氣，可以通過a.進行真空系統檢漏；b.檢查安全減壓閥是否復位；c.對低溫泵機械檢漏來排除。 

　　2、被抽容器中存在著He、Ne、H2 等不可凝氣體（因吸附板飽和），可以對泵進行再生處理來解決此故障。 

　　3、固定二級冷陣的螺釘松動，使吸附抽氣表面溫度高于20 K（一般情況下，此種可能性較小），處理此類故障可以將泵恢復到常溫后，檢查一、二級冷陣裝配情況。 

　　二、真空容器中壓力升高（低溫表面的溫度低于20K） 

　　可能原因為: 

　　1、二級冷陣的吸附器已吸附飽和，此時需要對泵進行再生。 
　　2、抽氣負載過高，可以通過利用屏蔽或降低輻射表面溫度來解決此類故障。 

　　三、低溫泵二級冷陣的溫度達不到20K，或需很長時間才能達到20K。 

　　此類故障的原因一般為： 

　　1、制冷機制冷能力變差，解決這類故障的方法a.檢查壓縮機供氣壓力是否正常，如壓力低機械補氣；b.對泵進行再生處理；c.蓄冷器被污染，或一、二級密封環磨損。 
　　2、壓縮機氣壓低，這時就需要對其補氣。 
　　3、真空系統或低溫泵本身有漏氣，此時需要a.真空系統進行檢漏；b.泵檢漏、安全閥是否復位。 
　　4、低溫泵內部存在較多的He、Ne、H2 等不可凝氣體（分壓較高），這時用干燥N2 氣沖洗或再生即可。 
　　5、壓縮機工作不正常，這時需要檢修壓縮機。 

　　四、低溫泵發出隆隆響聲，這時一般都是50Hz/60Hz 開關位置錯，只要置開關于正確位置即可解決此類故障。