上海微技術工研院（SITRI）在Galaxy S5中共發現了10顆傳感器，分別是6軸陀螺儀及加速度計，心率傳感器，指紋傳感器，RGB與接近傳感器，3軸電子羅盤，氣壓計,以及2顆麥克風和2顆CMOS圖像傳感器。

　　6軸陀螺儀及加速度計組件

　　與Samsung Galaxy S4不同，InvenSence取代STMicroelectronics，提供集成了3軸陀螺儀及3軸加速度計的芯片組件MPU6500。InvenSence采用體硅工藝，MEMS芯片及ASIC芯片集成在3.0mmx3.0mmx0.9mm尺寸的封裝內。